| 3A001 а. 1. 3A001 а. 2. 3A001 а. 3. 3A001 а. 4. 3A001 а. 5. 3A001 а. 6. 3A001 а. 7. 3A001 а. 8. 3A001 а. 9. 3A001 а. 10. 3A001 а. 11. 3A001 а. 12. 3A001 b. 1. 3A001 b. 2 3A001 b. 3. 3A001 b. 4. 3A001 b. 5. 3A001 b. 6. 3A001 b. 7. 3A001 b. 8. 3A001 с. 1. 3A001 с. 2. 3A001 с. 3. 3A001 d. 3A001 е. 1. 3A001 е. 2. 3A001 е. 3. 3A001 f. | 8542 8542 8542 8542 21 500 0 8542 21 83 8542 21 850 0 8542 60 000 8542 8542 21 45 8542 21 500 0 8542 21 83 8542 21 850 0 8542 60 000 8542 8542 29 600 0; 8542 29 900 9; 8542 60 000 9 8542 8542 8542 21 690 0; 8542 21 990 0 8542 8542 8542 8542 21 690 0; 8542 21 990 0; 8542 29; 8542 60 000 8542 8542 8542 21 45 8542 21 500 0 8542 21 83 8542 21 850 0 8542 60 000 8540 8540 99 000 0 8540 71 000 0 8540 79 000 0 8540 8542 29 8542 60 000 8542 70 000 0 8540 8541 21 000 0; 8541 29 000 0 8540 8543 89 950 0 8540 8543 89 950 0 8540 8540 8543 89 950 0 8540 8543 89 950 0 8541 8541 60 000 0 8541 8541 60 000 0 5418 8541 60 000 0 8542 8540 8541 8543 8506 8507 8541 40 900 0 8506 8507 8532 8505 19 900 0 8504 50 8505 90 100 0 9031 80 9031 80 320 0 9031 80 340 0 |
3А002 Төменде санамаланған, жалпы мақсаттағы электронды аппаратура;
а. Мыналар секілді, жазатын аппаратура және ол үшін арнайы әзірленген өлшейтін магнитті таспа;
1. Цифрлық сигналдарды жазу мүмкіндігі бар аппаратураны қоса алғанда, аналогті аппаратура үшін (мысалы, жоғары тығыздықты цифрлық жазу модулін пайдаланатын), келесі сипаттамалардың кез келгеніне ие магнит таспасындағы жинақтаушылар:
а. Электронды арнаға немесе жолға жиілік белдеуі 4 МГц-ден асады;
b. Жолдар саны 42 астам болған жағдайда, электронды арнаға немесе жолға жиілік белдеуі 2 МГц-ден асады немесе;
с. Радиоөнеркәсібі жөніндегі ведомствоаралық кеңестің (1К.10) немесе Электронды өнеркәсіп ассоциациясының (ЕІА) тиісті басшылыққа алынатын материалдарына сәйкес әдістемеліктер бойынша өлшенген уақытша шкаланың қайта келісу (негізгі) қателігі +/- 0,1 мкс-ден аз;
Ескерту: Азаматтық қолдануға арнайы әзірленген аналогтік бейнемагнитофондар жазатын аппаратура ретінде қаралмайды;
2. Цифрлық интерфейстің 360 Мбит/с-тен астам ең жоғары өткізу қабілетіне ие цифрлық бейнемагнитофондар;
Ескерту: 3А002.а. тармақ теледидарлық жазу үшін арнайы жобаланған, мүмкін, ықшам сигналды қоса алғанда сигналдың стандартты ауқымын пайдаланатын, Халықаралық Телекоммуникация Одағы, Халықаралық электротехникалық комиссия (МЭІС), АҚШ кино- және телеинженерлер қоғамы, Еуропа телехабарлар одағы, Еуропа электрбайланысты стандарттау институты немесе Электротехника мен радиоэлектроника жөніндегі инженерлер институты стандарттаған немесе ұсынған цифрлық бейнемагнитофондарды бақыламайды.
3. Спиральды көшіру принципін немесе белгіленген бастиектер принциптерін пайдаланатын және келесі сипаттамалардың кез келгеніне ие цифрлық аппаратура үшін магнитті таспадағы жинақтаушылар:
а. Цифрлық интерфейстің ең жоғары өткізу қабілеті 175 М битт/с-тен астам; немесе
b. «Ғарышта қолдану үшін жарамды»;
Ескерту: 3А002.а. тармақ жоғары тығыздықты цифрлық жазбаға түрлендіру үшін электронды блоктармен жарақталған және тек цифрлық деректерді жазуға арналған магниттік таспадағы аналогтік жинақтаушыларды бақыламайды.
4. Цифрлық бейнемагнитофондарды цифрлық аппаратураның деректерін жазу құрылғылары ретінде пайдалану үшін оларды қайта өңдеу мақсатында жобаланған цифрлық интерфейстің ең жоғары өткізу қабілеті 175 М битт/с-тен асатын аппаратура;
5. Сигналды цифрлық нысанға түрлендіруге және өтпелі процестерді жазуға арналған, барлық келесі сипаттамаларға ие аспаптар:
а. Цифрлық нысанға түрлендіру жылдамдығы секундына 200 млн. сынамадан кем емес және шешімі секундына 10 немесе одан көп; және
b. Өткізу қабілеті 2Г битт/с немесе одан жоғары;
Техникалық ескерту:
Құрылысы параллель шинадағы мұндай аспаптар үшін өткізу қабілеті дегеніміз сөздегі биттің барынша көп көлемінің сөздегі бит санына көбейтіндісі.
Өткізу қабілеті - таңдама жылдамдығы және аналогтік-цифрлық түрлендіру сақталған кезде ақпарат еске сақтау құрылғысына шығынсыз келіп түсетін аппаратураның ең жоғары деректер беру жылдамдығы.
6. Мәліметтерді магниттік дискіге жазу техникасын қолдана отырып, цифрлық сигналдарды жазуға арналған және келесі сипаттамаларға ие цифрлық өлшеуіш аспаптар:
а. Секундына 100 миллион таңдамаға тең немесе 8 бит немесе одан жоғары резолюциядан астам дискреттеу жылдамдығы, немесе
b. Тұрақты өткізу қабілеті 1 Гбит/сек немесе одан жоғары;
b. Бір берілген жиіліктен екіншісіне 1 мс-тен кем «жиілікті ауыстырып қосу уақытына» ие «жиілік сентизаторлары», «электрондық блоктар»;
c. Радио жиіліктерді талдауға қабілетті, мыналар секілді «сигналдар анализаторлары»:
1. 31,8 ГГц асатын, бірақ 37,5 ГГц-тен аз немесе 43,5 ГГц-тен жоғары радио жиіліктерді талдауға қабілетті «сигналдар анализаторлары»:
2. 500 кГц асатын «нақты уақытта өткізу белдеуі» бар «сигналдарды серпінді анализаторлар»
Ескерту: 3А002.c.2. тармақ тек белгіленген үлестерді өткізу белдеуі бар сүзгілерді ғана пайдаланатын сигналдарды серпінді анализаторларды бақыламайды (белгіленген үлестерді өткізу белдеуі бар сүзгілер, сондай-ақ октавалы немесе бөлшекті-октавалы сүзгілер ретінде де белгілі);
d. Ішкі эталондық жиіліктің негізінде немесе көмегімен қысқа уақыттық және ұзақ уақыттық тұрақтылық дәлдігінің өлшемдері бойынша басқарылатын шығу жиіліктерін қалыптастыратын, мынадай сипаттамалардың кез келгеніне ие синтезделген жиіліктер сигналдарының генераторлары:
1. 31 ГГц астам, бірақ 37,5 ГГц-тен аз немесе 43,5 ГГц-тен жоғары емес, ұзақтығы 100 нс-тен аз импульс құру үшін жобаланған ең жоғары синтезделетін жиілік;
2. 43,5 ГГц астам ең жоғары синтезделетін жиілік;
3. Бір берілген жиіліктен екіншісіне 1 мс-тен аз «ауыстырып қосу уақыты»; немесе
4. дБ х с/Гц бірліктерінде - (126 + 20log10F - 20log10f) бір бүйірлік белдеудің фазалық шуылы жақсырақ, мұндағы f-Гц-дегі жұмыс жиілігінің жылжуы, ал F - МГц-дегі жұмыс жиілігі
Техникалық ескерту:
3А002.d.1 тармағының мақсаты үшін «импульс ұзақтығы» 90% шыңына жететін импульстің алдыңғы шебі мен 10% шыңына жететін импульстің кейінгі шебі арасындағы интервал ретінде айқындалады.
Ескерту: 3А002.d. тармақ шығу жиілігі екі немесе одан көп кварцті генераторлармен жиіліктерді қосу не есептеу арқылы не нәтижелейтін жиіліктерді кейін көбейте отырып қосу немесе есептеу жолымен құрылатын аппаратураны бақыламайды.
е. 43,5 ГГц асатын ең жоғары жұмыс жиілігімен желілік талдағыштар;
f. Мынадай барлық сипаттамаларға ие микротолқынды қабылдағыш-тестерлер:
1. 43,5 ГГц-тен асатын ең жоғары жұмыс жиілігі; және
2. Бір мезгілде амплитуданы және фазаны өлшеу қабілеті;
g. Мынадай сипаттамалардың кез келгеніне ие жиіліктердің атомдық эталондары:
Айына 1х10-11/-тен кем (жақсы) ұзақ мерзімді тұрақтылық көнеру);
2. «Ғарышта қолдануға жарамды».
Ескерту: 3Ф002.g. тармақ «ғарышта қолдануға арналмаған» рубидийлі эталондарды бақыламайды.
| 3A002 а. 1. 3A002 а. 2. 3A002 а. 3. 3A002 а. 4. 3A002 а. 5. 3A002 а. 6. 3A002 b. 3A002 с. 1. 3A002 с. 2. 3A002 d. 3A002 е. 3A002 f. 3A002 g. | 8519 81 560 8520 32 500 0 8520 32 990 0 8520 39 900 0 8520 90 900 0 8521 10 300 0 8521 10 800 0 8521 8521 10; 8521 90 000 0 8521 10 8471 70 600 0 8521 90 000 9 8521 90 000 0 8543 8471 90 000 0 8543 89 950 0 8486 10 8486 20 8486 30 8486 40 8523 59 8523 52 8471 50; 8471 60 100 0; 8471 60 900 0; 8471 70 100 0; 8471 70 510 0; 8471 70 530 0; 8520 90 100 0; 8520 90 900 0; 8521 90 000 0; 8522 90 590 0; 8522 90 930 0; 8522 90 980 0 8543 8486 10 8486 20 8486 30 8486 40 8523 59 8523 52 8543 20 000 0 8543 8486 10 8486 20 8486 30 8486 40 8523 59 8523 52 9030 83 900 0 9030 89 920 0 8543 8586 10 8486 20 8486 30 8486 40 8523 59 8523 52 9030 83 900 0; 9030 89 920 0 8543 20 000 0 8543 8486 10 8486 20 8486 30 8486 40 8523 59 8523 52 9030 40 900 0 8527 99 000 0 8527 90 980 0 8543 20 000 0 |
3А003 Флюидті тасымалдау және герметикалық кеңістіктегі қасиетін қалпына келтіру үшін автоматты түрде реттелетін жабдықтың жабық циклі пайдаланылатын жылумен салқындатуды және бүркуді бақылау жүйелері. Мұнда диэлектриктік флюид электрондық компоненттерге арнайы әзірленген, электрондық компоненттерді жұмыс температурасы шегінде ұстап тұруы тиіс бүріккіштер көмегімен шашылады. Және арнайы жобаланған компоненттер.
| 3A003 | 8419 89 989 0 8424 89 950 9 8479 89 980 0 |
3А101 3А001 тармақта сипатталғандардан ерекшеленетін мыналар секілді электронды жабдық, құрылғылар мен компоненттер:
а. Жоғары қорғалымдағы жабдық үшін әскери ерекшеліктерге сәйкес әзірленген, «ракеталарда» пайдалануға жарамды аналогті-цифрлық түрлендіргіштер;
b. 2 МэВ немесе одан артық жеделдетілген электрондардың тежегіштік сәулеленуінің есебінен электр магнитті сәулелену жасайтын жеделдеткіштер және осындай құрылғылары бар жүйелер;
Ескерту: 3А101.b. тармақ бойынша егер ол медициналық мақсатқа арналған болса, жоғарыда сипатталған жабдық бақыланбайды.
| 3A101 а. 3A101 b. | 8471 30 8471 41 8471 49 8471 50 8542 8543 10 000 0 8543 19 000 0 |
3А001 3А201 тармақта сипатталғандардан ерекшелігі бар, мыналар секілді электронды компоненттер:
а. Келесі сипаттамалар жиынтығының кез келгеніне ие конденсаторлар:
1. а. Кернеуі 1,4 кВ-ден астам,
b. Энергияның запасы 10 Дж-ден астам,
с. Сыйымдылығы 0,5 мкФ-ден астам, және
d. Дәйекті индуктивтілігі 50 нГ-ден кем; немесе
2. а. Кернеуі 750 В-дан астам,
b. Сыйымдылығы 0,25 мкф-тен астам,
с. Дәйекті индуктивтілігі 10 нГ-тен кем;
b. Бір мезгілде барлық келесі сипаттамаларға ие аса өткізгіш соленотдальды электро-магниттер:
1. Магниттік өріс жасау қабілеті 2 Т-дан жоғары;
2. Ұзындығының ішкі диаметрге арақатынасы (L/D) 2-ден артық;
3. Ішкі диаметрі 300 мм-ден артық; және
4. Орталығы бойынша ішкі көлемнің 50%-і шегінде 1%-тен жақсы магниттік өрістің біртектілігі;
Ескерту: 3А201.b. тармақ бойынша бейнелеудің медициналық ядролық магниттік-резонанстық (ЯМР) жүйелер үшін арнайы әзірленген магниттер және олардың құрамдас бөліктері экспорттық бақылауға жатпайды. «Құрамдас бөлік» сөзі сол жабдықтың өзінің табиғи бөлігін білдіруі міндетті емес. Тиісті экспорттық құжаттарда құрамдас бөліктердің байланысы анық көрсетілген жағдайда түрлі көздерден жекелеген жөнелтулер жасауға жол беріледі.
с. Келесі сипаттамалар жиынтығының кез келгеніне ие, импульстік рентгендік генераторлар немесе импульстік электронды жеделдеткіштер:
1. а. Жеделдеткіш электрондарының ең жоғары энергиясы 500 кэВ немесе одан астам, бірақ 25 МэВ кем; және
b. Сапасы (К) 0,25 немесе одан астам, немесе
2. а. Электрондардың ең жоғары энергиясы 25 МэВ немесе одан астам, және
b. «Қуат шыңы» 50 МВт астам
Ескерту: 3А201.c. тармақ бойынша электр шоқтарын немесе рентген сәулелерін (мысалы, электрондық микроскопия) алудан гөрі өзге мақсаттарға арналған құрылғылардың және медициналық мақсатқа арналған құрылғылардың құрамдас бөліктері болып табылатын жеделдеткіштер бақыланбайды:
Техникалық ескерту:
1. К «коэффициент сапасы» мына формула бойынша айқындалады:
K=1,7x10^(3)V^(2,65)Q
мұндағы V - электрондардың мегаэлектровольттардағы ең жоғары энергия.
Егер жеделдеткіш шоғы импульсінің ұзындығы 1 мкс-тен кем немесе оған тең болса, онда Q - кулондағы жиынтық жеделдетілген заряд. Егер жеделдеткіш шоғының ұзындығы 1 мкс болса, онда бұл - 1 мкс-тегі ең жоғары жеделдетілген заряд.
t интервалы бойынша Q і интервалына тең, і интервалы 1 мкс-тен немесе шоқ импульсінің (Q =Sidt) ұзақтығынан аз шаманы білдіреді, мұнда і - ампермен алғандағы шоқ тогі, і - секундпен алғандағы уақыт;
2. «Қуат шыңы» = (вольттағы ең жоғары әлеует) ампердегі шоқтың тогына көбейтілген х.
3. Микротолқынды жеделдеткіш белдеулерде орын тепкен құрылғылардағы шоқ импульсінің ұзақтығы - бұл екі шаманың неғұрлым азы: 1 мкс немесе микротолқынды модулятор импульсінің ұзақтығымен айқындалатын шоқ импульсі пакетінің топтанған ұзақтығы.
4. Микротолқынды жеделдеткіш белдеулерінде орын тепкен құрылғылардағы ең жоғары ток - бұл токтың шоқ импульстерінің топтастырылған пакеті ұзақтығының бойындағы орташа шама.
| 3A201 а. 3A201 b. 3A201 с. | 8532 10 000 0 8532 29 000 0 8532 23 000 0 8532 24 000 0 8532 25 000 0 8505 90 100 0 8543 8486 10 8486 20 8486 30 8486 40 8523 59 8523 52 8543 19 000 0 9022 19 000 0 |
3А225 0В001.b.13 тармақтарда сипатталғандардан ерекшелігі бар, келесі барлық сипаттамаларға ие жиіліктердің түрлендіргіштері немесе генераторлар:
а. Қуаты 40 Вт немесе одан астам көп фазалы шығу;
b. 600-ден 2000 Гц-ге дейінгі жиіліктер интервалында жұмыс істейді;
с. Жиынтық сызықтық емес бұрмалану 10% -тен жақсы (төмен); және
d. Жиіліктерді 0,1% кем (жақсы) дәлдікпен реттеу.
Техникалық ескерту:
3А225 тармақтағы жиіліктердің түрлендіргіштері сондай-ақ инверторлар немесе конверторлар ретінде белгілі.
| 3A225 | 8502 39 800 0 8504 40 000 0 8502 39 990 0 8502 40 900 0 |
3А226 0B001.j.6. тармақтарда сипатталғандардан ерекшелігі бар, келесі сипаттамалардың екеуіне де ие тұрақты токтың қуатты көздері:
а. 100 В астам кернеу кезінде және 500 А немесе одан астам шығу тоғында 8 сағаттан астам үздіксіз жұмыс істеуге қабілетті;
b. Токтың немесе кернеудің тұрақтылығы 8 сағаттық уақыт кезеңінде 0,1%-тен жақсы.
| 3A226 | 8504 40 900 9 8504 40 940 9 8504 40 990 0 |
3А227 0B001.j.5. тармақта сипатталғандардан ерекшелігі бар, келесі сипаттамалардың екеуіне де ие тұрақты токтың жоғары вольтты көздері:
а. 8 сағат бойы 1 А немесе одан жоғары шығу тоғы кезінде 20 кВ немесе одан астам кернеу туғызуға қабілеті; және
е. Токтың немесе кернеудің тұрақтылығы 8 сағаттық уақыт кезеңінде 0,1%-тен жақсы.
| 3A227 | 8501 61 8501 62 8501 63 000 0 8501 64 000 0 8501 32 990 9 8501 33 900 9 8501 34 910 0 8501 34 990 0 8504 40 940 9 |
3А228 Мыналар секілді қосушы құрылғылар:
а. Газбен толтырылуы немесе толтырмауына қарамастан ұшқындық аралық ретінде жұмыс істейтін және барлық келесі сипаттамаларға ие, салқын катодты лампалар:
1. Үш немесе одан көп электродтары бар;
2. Ең жоғары анодтық кернеуі 2,5 кВ немесе одан астам;
3. Ең жоғары анодтық ток 100 А немесе одан астам;
4. Анодтық кідірісі 10 мкс немесе одан кем;
Ескерту: 3А228 тармағы газ толтырылған криптонды лампаларды және вакуумды спрайтрондарды қамтиды.
b. Келесі сипаттамалардың екеуіне де ие басқарылатын ұшқынды разрядниктер:
1. Анодтың кідірісі 15 мкс-тен жоғары емес; және
2. 500 А немесе одан астам ең жоғары тогқа есептелінген;
с. Барлық келесі сипаттамаларға ие тез қосуға арналған модульдер немесе жинамалар:
1. Ең жоғары анодтық кернеу 2 кВ немесе одан астам;
2. Ең жоғары анодтық ток 500 А немесе одан астам; және
3. Қосу уақыты 1 мкс немесе одан астам;
| 3A228 а. 3A228 b. 3A228 с. | 8540 89 000 0 8535 90 000 0 8536 90 850 0 8536 30 900 0 8535 90 000 0 8540 89 000 0 8535 8535 90 000 0 |
3А229 Мыналар секілді іске қосу құрылғылары және ток күші жоғары барабар импульстік генераторлар:
Ерекше ескерту: сондай-ақ әскери тізімді қараңыз
а. 2А232 тармақта көрсетілген басқарылатын детонаторларды қатарлас іске қосу үшін әзірленген жару құрылғылары детонаторларының іске қосу құрылғылары;
b. Келесі барлық сипаттамаларға ие модульді-электрлі импульстік генераторлар:
1. Портативтік, ұтқыр немесе қатаңдатылған режимде пайдалануға арналған;
2. Шаң өтпейтін корпуста орындалған;
3. 15 мкс-тен кем уақыт барысында қосалқы энергия бөлуге қабілетті;
4. Шығуында 100 А жоғары ток беретін;
5. 40 Ом-нан кем жүктеме қарсылығы кезінде импульстің «есу уақыты» 10 мкс-тен кем;
6. Мөлшерлердің бірде бірі 254 мм аспайды;
7. Салмағы 25 кг-нан аз; және
8. 223 К (-50oС) бастап 373 К (100oС)-ге дейінгі температура диапазонында пайдалануға бейімделген немесе ғарышта пайдалануға жарамды ретінде көрсетілген.
Ескерту: 3А229.b. ксенонды жарық шоғырлы драйверлерді қамтиды.
Техникалық ескерту:
3А229.b.5 тармақта «өсу уақыты» тиісті жүктеме арқылы өтетін токтың 10% және 90% ампуласының арасындағы уақытша интервал ретінде айқындалады
| 3A229 а. 3A229 b. | 8543 70 900 9 8486 10 8486 20 8486 30 8486 40 8523 52 8543 70 3603 00 900 0 8543 89 950 0 8543 20 000 0 8543 89 950 0 8548 90 900 0 |
3А230 Мынадай сипаттамалардың екеуіне де ие аса жылдам импульстік генераторлар:
а. 55 Ом-нан кем резистивті жүктеме кезінде шығуында 6 В-дан астам кернеу, және
b. Импульстің өсу уақыты (шептің ұзақтығы) 500 пс-тен кем
Техникалық ескерту:
3А230 тармақта «өсу уақыты» кернеу амплитудасының 10% және 90% аралығында уақытша интервал ретінде айқындалады.
3А231 Түтіктерді қамтитын, мынадай сипаттамалардың екеуіне де ие нейтронды генераторлар жүйелері:
а. Сыртқы вакуумдық жүйесіз жұмыс үшін құрастырылған; және
b. Тритийлі-дейтерилі ядролық реакцияны индицирлеу үшін электростатикалық жеделдетуді пайдаланушы
| 3A231 | 8543 10 000 0 8479 89 980 0 8543 19 000 0 9015 80 110 0 |
3А232 Мыналар секілді детонаторлар және көп нүктелі бастамашы жүйелер:
Ерекше ескерту: сондай-ақ әскери тізімді қараңыз
а. Мыналар секілді электродетонаторлар:
1. Жарылатын мойнапты;
2. Жарылатын мойнапты-сымды;
3. Соққылық әсерлі;
4. Жарылатын фольгалы инициаторлар;
b. Бір немесе бірнеше детонаторларды пайдаланатын, бірыңғай сигнал бойынша 5000 шаршы мм астам бетте жарылғыш заттардың бүкіл алаң бойынша 2,5 мкс-тен кем түрлі уақыттылықпен бір мезгілде іске қосуға арналған құрылғылар.
Ескерту: 3А232 тармақ бойынша қорғасынның азиді секілді тек бастапқы ВВ пайдаланатын детонаторлар экспорттық бақылауға жатпайды.
Техникалық ескерту:
3А232.а. тармақта көрсетілген барлық детонатор өзі арқылы қуатты электрлік импульс өткен кезде жарылыспен бірге буланып кететін кіші электр өткізгішін (көпір, жарылатын сым немесе фольга) пайдаланады. Соққысыз үлгідегі жарғыштардағы жарғыш сым өзімен байланысатын РЕТМ (пентаэритритолтетранитрат) секілді жарғыш затта (ЖЗ) химиялық детонация тудырады. Соққылық детонаторларда сымның жарылыстық булануы саңылаудағы соққылаушыны немесе пластинканы қозғалысқа келтіреді, ал пластинканың ЖЗ-ға әсер етуі химиялық детонацияға бастау береді. Кейбір конструкциядағы соққылаушы магниттік өріспен жеделдетіледі. Жарылатын фольгалы детонатор термині жарылатын сымы бар детонаторларға да, соққылы үлгідегі детонаторларға да қатысты. Бұдан басқа детонатор терминінің орнына инициатор термині қолданылады.
| 3A232 а. 3A232 b. | 3603 00 900 0 8543 70 900 9 8486 10 8486 20 8486 30 8486 40 8523 52 8543 70 8543 89 950 0 |
3А233 0В002.g. тармақта сипатталғандардан ерекшеленетін 230 және одан астам атомның массалық сандарының мәнін өлшеуді қамтамасыз ететін, 2 бөлікті 230-ден жақсы шешім қабілеті немесе олар үшін ионның көздері, оның ішінде мыналар бар масс-спектрометрлер:
а. Индуктивті байланысқан плазмалы (ПМС/ИС) масс-спектрометрлер;
b. Тұнбалы разрядты масс-спектрометрлер (ТРМС);
с. Термоионизациялы масс-спектрометрлер (ТИМС);
d. Уран гексафторидіне төзімді материалдардан құрастырылған немесе сондай материалдармен қорғалған ионизацияланған камералары бар электронды соққылы масс-спектрометрлер;
е. Молекулярлық шоғыры бар, мыналар секілді масс-спектрометрлер:
1. Тоттанбайтын болаттан немесе молибденнен құрастырылған немесе олармен қорғалған ионизациялық камерасы және 193 К (-80oС) немесе одан төмен салқындатуды қамтамасыз ететін салқындату камерасы бар; немесе
2. Уран гиксафторидіне қатысты төзімді материалдардан құрастырылған немесе сондай материалдармен қорғалынған ионизациялық камерасы бар;
f. Микрофтористік ион көзімен жабдықталған, актиниттермен немесе актиниттердің фторидтермен пайдалану үшін әзірленген масс-спектрометрлер;
| 3A233 а. 3A233 b. 3A233 с 3A233 d. 3A233 е. 3A233 f. | 9027 80 970 0 9027 80 970 0 9027 80 970 0 9027 80 970 0 9027 80 970 0 9027 80 970 0 |
3В Сынақ, бақылау және өндірістік жабдығы
3В001 Жартылай өткізгіш жабдықтар немесе материалдар өндіруге арналған төменде санамаланған жабдық және олар үшін арнайы әзірленген компоненттер мен керек-жарақтар:
а. Эпитаксиальдік өсіруге арналған, мыналар секілді қондырғылар:
1. Мыналарды шығаруға қабілетті жабдық:
а. 200 мм немесе одан астам уақыт бойында +/- 2,5%-тен кем біркелкі қалыңдықты кремний қабаты; немесе
b. 75 мм немесе одан астам уақыт бойында +/- 2,5% -тен кем біркелкі қалыңдықты кремнийден басқа кез келген материал;
2. 3С003 немесе 3С004 тармақ бойынша бақыланатын материалдардың арасындағы химиялық реакциялардың көмегімен күрделі жартылай өткізгіштердің кристалдарын алу үшін арнайы әзірленген металл-органикалық қосылыстардың буын химиялық шектіру қондырғылары;
3. Газды көздерді пайдаланатын эпитаксиалды өсірудің молекулярлық-сәулелік қондырғылары;
b. Келесі сипаттамалардың кез келгеніне ие, иондық имплантация үшін әзірленген қондырғылар:
1. 1 МэВ-дан жоғары шоғыр энергетикасы (жеделдететін кернеу);
2. 2 кэВ-ден төмен шоғыр энергетикасымен (жеделдететін кернеумен) жұмыс үшін арнайы жобаланған және оңтайландырылған;
3. Тікелей жазу қабілеті бар; немесе
4. Жартылай өткізгіш материалдардың қыздырылған «табанына» оттегіні жоғары энергетикалық имплантациялауға жарамды 65 кэВ немесе одан жоғары шоғыр энергетикасы және 45 миллиампер немесе одан жоғары шоғыр тоғы;
с. Анизотропты плазмамен құрғақ өңдеуге арналған мыналар секілді жабдық:
1. Келесі сипаттамалардың кез келгеніне ие, пластиндерді касеттеп өңдеу және толтыру шлюздері арқылы толтыру:
а. 0,3 um немесе + 5% 3 сигма-дәлдіктен аз шекті шаманы алу үшін жобаланған немесе оңтайландырылған; немесе
b. Диаметрі бойынша 0,1 um-нан жоғары жиіліктің өлшеуіш мөлшерінде 0,04 см2-ден кем бөлшектер тудыру үшін жобаланған;
2. 3Е001.е. тармақ бойынша бақыланатын ие жабдық үшін арнайы жобаланған және келесі сипаттамалардың кез келгеніне;
а. 0,3 um немесе +5 % 3 сигма-дәлдіктен аз шекті шаманы алу үшін жобаланған немесе оңтайландырылған; немесе
b. Диаметрі бойынша 0,12 um-нан жоғары жиіліктің өлшеуіш мөлшерінде 0,04 см2-ден кем бөлшектер тудыру үшін жобаланған;
d. Мыналар секілді химиялық бу-газды шөктіру және плазмалық ынталандыру қондырғылары:
1. Өндірушінің техникалық ерекшелемелеріне сәйкес жобаланған немесе шекті шамасы 180 нм немесе одан аз жартылай өткізгішті құрылғылар өндірісінде пайдалану үшін оңтайландырылған пластиндерді касеттеп өңдеу және тиеу шлюздері арқылы жүктеме;
2. Өндірушінің техникалық ерекшелемелеріне сәйкес 3Е001.е. тармақ бойынша бақыланатын жабдық үшін арнайы жобаланған немесе шекті шамасы 180 нм немесе одан аз жартылай өткізгішті құрылғылар өндірісінде пайдалану үшін оңтайландырылған;
е. Келесі барлық құраушыларға ие, енгізілген бағдарламалармен басқарылатын, пластиндерді орталық толтыруы бар автоматты түрде жүктемеленетін көп камералы жүйелер:
1. Жартылай өткізгіштерді өңдеуге арналған жабдықтардың екеуден көп бірлігі жалғанатын пластиндерді толтыруға және босатуға арналған интерфейстар; және
2. Вакуумдық ортада пластиндерді жүйелі көп позициялы өңдеудің интеграциялы жүйесіне арналған;
Ескерту: 3В001.е. тармақ вакуумдық жұмыс істеуге арналмаған жүктеудің автоматты роботты техникалық жүйелерін бақыламайды;
f. Мыналар секілді литографиялық қондырғылар:
1. Келесі құраушылардың кез келгенінде ие, пластиндерді фотооптикалық немесе рентгендік литография әдісімен өңдеуге арналған көп мәрте жалғау (пластинге тікелей қадам) және экспонирлау және қадамдық экспонирлау және сканирлеу (сканер) қондырғылары:
а. 350 мм-нен қысқа толқын ұзындығы бар жарық көзі; немесе
b. Суретті 0,35 мкм-нан бастап және одан кем ең төмен мөлшерлі шешіммен беру қабілетті;
Техникалық ескерту: Шешімнің ең төменгі мөлшері (ШТМ) келесі формула бойынша есептеледі:
(жарықтың сәулелену толқынының мкм-дағы ұзындығы) х (КФактор)
ШТМ =
цифрлық апертура
мұндағы К фактор = 0,7;
ШТМ - шешімнің ең төмен өлшемі.
2. Келесі сипаттамалардың кез келгеніне ие, ауытқитын фоксталатын электронды сәулелерді иондардың шоқтарын немесе лазердің сәулесін пайдалана отырып шаблондарды өндіру немесе жартылай өткізгіш приборларды өңдеу үшін арнайы жобаланған қондырғылар;
а. Дақтың мөлшері 0,2 мкм-нен кем;
b. 1 мкм-нен кем ең төмен рұқсат етілген жобалық нормалармен сурет шығару қабілеті; немесе
с. Орнын басу дәлдігі +/- 20 мкм (3 сигма)-дан жақсырақ;
g. 3А001 тармақ бойынша бақыланатын интегралдық схемалар үшін әзірленген шаблондар немесе аралық орта фотошаблондар;
h. Фазаны жылжытатын қабаты бар көп қабатты шаблондар;
Ескерту: 3В001.h. тармағы 3В001 тармағымен бақыланбайтын есте сақтаушы құрылғылар өндіруге арналған фазаны жылжытатын қабаты бар көп қабатты шаблондарды бақыламайды.
| 3B001 а. 1. 3B001 а. 2. 3B001 а. 3. 3B001 b. 3B001 с. 1. 3B001 с. 2. 3B001 d. 3B001 е. 3B001 f. 1. 3B001 f. 2. 3B001 g. 3B001 h. | 8419 89 8486 10 000 8486 20 8479 89 650 0 8419 89 8486 10 000 8486 20 8419 89 200 0 8417 80 8479 89 700 0 8543 89 650 0 8456 10 8486 10 000 0 8486 20 8486 30 8543 11 000 0 8456 90 000 0 8456 91 000 0 8456 99 800 0 8456 90 000 0 8456 91 000 0 8456 99 800 0 8456 90 000 0 8419 89 200 0 8419 89 300 0 8456 10 8456 90 000 0 8486 10 000 0 8486 30 8486 40 8456 91 000 0 8456 99 800 0 8456 99 300 0 8479 50 000 0 8443 39 290 0 9009 22 000 0 8456 10 8486 10 000 0 8486 20 8486 30 8456 99 8471 8443 31 8443 32 8528 41 8528 51 8528 61 8517 62 9010 90 9010 90 000 0 9010 90 |
3В002 «Қондырылған бағдарламамен басқарылатын», дайын немесе түрлі дайындық дәрежесіндегі жартылай өткізгіш приборларды сынау үшін арнайы жобаланған сынақтар аппаратурасы және оған арнап арнайы әзірленген компоненттер мен бейімдемелер:
а. 31 ГГц-ден жоғары жиіліктердегі транзисторлық аспаптардың S-өлшемдерін өлшеуге арналған;
b. 333 МГц-ден астам жолдардың тест жүргізу жиілігімен функционалдық тесттерді орындауға қабілетті (ақиқаттық кестелер бойынша) интегралды схемаларды сынау үшін;
Ескерту: 3В002.b. тармақ төмендегілерді сынау үшін арнайы жобаланған сынақтар аппаратурасын бақыламайды;
1. Тұрмыстық немесе ойын электрондық аппаратурасына арналған «электронды жинамалар» немесе «электронды жинамалар» сыныбы аппаратураларын;
2. Бақыланбайтын электронды компоненттерді, «электронды жинамаларды» немесе интегралды схемаларды;
3. Есте сақтайтын құрылғыларды.
Техникалық ескерту:
Мұнда «тест жүргізу жиілігі» деп тестер цифрлық операцияларының жиілігі түсініледі. Сөйтіп, ол тестердің мультипликациялық режимде мәліметтер беруінің ең жоғары жылдамдығымен барабар. Ол сонымен қатар тестің жылдамдығы, ең жоғары цифрлық жиілік немесе ең жоғары цифрлық жылдамдық ретінде де белгілі.
с. 3А001.b.2. тармақта көрсетілген микротолқынды интегралды схемаларды сынау үшін;
