және керамика материалдарынан басқа)
F. Металлдық тозаңдану "Суперқұймалар" Сицилидтің құймалары,
алюминидтердің құймалары
(2), Алюминидтермен
модификацияланған
Металлдар,
MCrAIX цирконийдің
модификацияланған түрлері,
платиндер,
жоғарыда көрсетілген
материалдардың
араластырғыштары (4)
Аз коэффициенттік Сицилидтер,
кеңеюімен керамика платиндер,
мен шыны (14) жоғарыда көрсетілген
материалдардың
араластырғыштары (4),
Диэлектрлік қабаттар (15)
Алмаз тәрізді
көміртегілер (17)
Титандық құймалары Боридтер, нитридтер,
(13) оксидтер, сицилидтер,
алюминидтер,
алюминидтердің құймалары
(2), карбидтер
---------------------------------------------------------------------------
Жабуларды шөктірудiң техникалық қабылдауларының кестесі
---------------------------------------------------------------------------
1. ! Жабуды жасау про. ! 2. Ішкі қасықша ! 3. Нәтижелейтін жабу
! цесінің атауы (1)*! !
---------------------------------------------------------------------------
F. (жалғасы) Көміртегі-көміртегі, Сицилидтер, карбидтер,
металл "матрицала. тығыз қалқитын металдар,
рымен" "композиция. жоғарыда көрсетілген
лық" материалдар материалдардың қоспалары
және керамика (4), диэлектрлік
қабаттар (15)
бордың нитриді
Цементтелген Карбидтер, Вольфрам,
вольфрам карбиді жоғарыда көрсетілген
(16), кремний материалдардың қоспалары
карбиді диэлектрлік қабаттар (15)
бордың нитриді
Молибден және оның Диэлектрлік қабаттар (15),
құймалары боридтер
Берилий және оның Диэлектрлік қабаттар (15)
құймалары
Бергіш терезелер. Диэлектрлік қабаттар (15)
інің материалдары
Берилий және оның Боридтер,
құймалары Диэлектрлік қабаттар
(15),
берилий
Бергіш терезелер. Диэлектрлік қабаттар (15),
інің материалдары Алмаз тәрізді
(9) көміртегілер (17)
Тығыз қалқитын Алюминидтер,
металдар және сицилидтер,
құймалар (8) оксидтер,
карбидтер
G. Иондық имплантация Жоғары температура. Ниобидің (Колумбия)
дағы тоттануға немесе танталдың, хромның
берік құймалар қоспалары
Титанды құймалар Боридтер, нитридтер
Берилий және оның Боридтер
құймалары
Цементтелген Карбидтер,
вольфрам карбиді нитридтер
(16), кремний
карбиді
---------------------------------------------------------------------------
Жабуларды шөктірудің техникалық әдістері кестесінде
пайдаланатын техникалық терминология
1. "Жабуды жасау процесi" терминi бастапқы жабуды жасау ретінде, сондай-ақ
жасалған жабуды түзету және жақсарту жөніндегі жұмыстарды қамтиды;
2. "Алюминидтің құймалармен жабу" терминi жабуларды бiр рет немесе көп
рет жасауды қамтиды, оның барысында элементке немесе элементтерге тiпті
егер осы элементтерге жабу басқа процестердiң көмегімен шөктiрілген болса
да, ал алюминидерлеу процесiне дейiн немесе соның iшiнде жабу шөгедi. Бұл
алайда алюминидтердiң құймаларын алу үшiн пакеттiк цементтеудiң бiр
қадамдық процесiнiң көп мәртелiк пайдалануын қамтиды.
3. "Асыл металдармен, модификацияланған алюминидтермен жабу" терминi
жабуларды көп қадамдық жасауды қамтиды, онда асыл металл немесе асыл
металдар алюминитті жағудың әдiсiн қолдануға дейiн бұрын әлдебiр басқа
процеспен жағылған.
4. Қоспалар инфильтерлейтiн материалды, композицияларды процестің
теңестiрушi температурасын, қондырмаларды және көп деңгейлi материалдарды
қамтиды және кестеде баяндалған жабуларды жағу бiр немесе бiрнеше
процестердiң барысында пайда болады.
5. МсrАIХ жабудың күрделi құрамына сәйкес келедi, мұндағы М-кобальтқа,
темірге, никельге немесе олардың комбинацияларына баламды, ал Х-кез
немесе мыналардан басқа түрлi пропорцияларда немесе комбинацияларда
0,01%-тен артық (салмағы бойынша) басқа арнайы жағылған толықтырмаларда
кез келген сандағы Гафницге, итрийге, кремнийге, танталға немесе астам
арнайы жағылған толықтырмаларға баламды:
а. СоСrАIҮ-22% (салмағы бойынша) аз хром, 7% (салмағы бойынша) алюминийден аз және итрийдiң 2% кем (салмағы бойынша);
b. СоСrАIY-22-24% (салмағы бойынша) аз хром, 10-12% (салмағы бойынша) алюминийден аз және итрийдiң 0,5-0,7% кем (салмағы бойынша);
с. NiСrАIY-21-23% (салмағы бойынша) аз хром, 10-12% (салмағы бойынша) алюминийден аз және итрийдiң 0,9-1,1% кем (салмағы бойынша); 0 6. "Алюминий құймалар" терминi 293 К (20 С) температура кезiнде өлшенген ажыратуға берiктігінiң шекті мәнi 190 МПа немесе одан астам құймаларға сәйкес келедi.
7. "Тоттану-төзiмдi болат" терминi АISI (American iron and Steel
Institute) темір және болат Американ институтының 300 стандарттарының
талаптарын немесе болаттарға арналған тиiстi ұлттық стандарттарының
талаптарын қанағаттандыратын болаттарға жатады.
8. Тығыз балқитын металдарға мынадай металдар мен олардың құймалары
жатады: ниобий (колумбий), молибден, вольфрам және тантал.
9. Бергiштерiнiң терезелерiнің материалдары мыналар болып табылады:
алюминий (алюминий тотығы), кремний, германий, мырыштың сульфидi, мырыштың
силинидi, галийдiң арсенидi, алмаз, галий фосфоридi, металдардың кейбір
галогиниттердi (иодты калий, фторлы калий), ал 40 мм-нен астам диаметрдегi
бергіштерi-бромды талий және хлорлы-бромды талий.
10. Қанаттардың қатты профильдерін бiр қадамдық пакеттеуге цементтеу
"технологиялық" 2-санат бойынша шектелуге түспейдi.
11. Полимерлерге мыналар кiредi: полиамид, полиэфир, полисульфит,
поликарбонаттар мен полиуритандар.
12. "Цирконийдiң модификацияланған түрлерi" терминi кристаллды-графикалық
фазалардың және араластыру фазасының айқындалған тұрақтылығының шарттарына
сәйкес оған басқа металдардың тотықтарының толықтырмаларымен енгізiлген
(кальцийдiң, магнийдiң тотығы, итрийдiң, гафнийдiң, жерде сирек кездесетін
металдардың тотығы) цирконийдi бiлдiредi. Кальциймен немесе араластыру
немесе балқыту әдiсiмен магнийдiң тотығымен модификацияланған цирконийден
жасалған термотөзiмдi жабулар бақыланбайды.
0
13. "Титан құймалар" терминi 293 К (202 С) температура кезiнде өлшенген
ажыратуға берiктiгінiң шекті мәнi 900 МПа немесе аэроғарыштық титан
құймалары.
0
14. Кеңеюдiң кiшi коэффициентi бар шынылар 293 К (20 С) кезiнде өлшенген
1 х 10 К немесе кем температуралық кеңею коэффициенті бар шыны ретінде
айқындалады.
15. Диэлектрлi қабатты жабулар (диэлектрлердiң қабаттары) көп қабатты
оқшаулайтын материалдарға жатады, олардағы конструкцияның интерференциялық
қасиеттерi бейнеленудiң түрлi индекстерiмен үйлесiм табады. Бұл бейнелеу,
толқындарды әр түрлi диапазондарда беру немесе жүт үшiн пайдаланылады.
Диэлектрлiк қабатты жабулар диэлектрліктердiң көп немесе одан көп
қабатынан диэлектрлiк-металл "композиттің" қабаттарынан тұрады.
16. Вольфрамның цементтелген карбидi вольфрамның карбидiнен (кобальт,
никель) титанның карбидiнен (кобальт, никель), хромның карбидiнен (никель,
хром) және хромның/никельдiң карбидiнен тұратын металды кесумен қалыптау
үшiн қолданылатын материалдарды қамтымайды.
17. Мынадай бұйымдарға алмаз тәрiздi көмiртегі жалату үшiн арнайы
әзiрленген технологиялар бақыланбайды:
магнитті дискiлер және басшықтар, көзге арналған поликарбонат линзалар, бiр мәрте пайдаланылатын тауарды өндiруге арналған жабдық, нан пiсiру жабдығы, крандардың клапондары, көтере сөйлеткiштерге арналған акустикалық диафрагмалар, автомобиль двигательдерiнiң детальдары, кесетiн аспаптар және кескiштер, штамптау-нығыздау аспаптарына арналған штамптар, фото және кинокамералармен телескоптарға арналған жоғары сапалы линзалар, микрофондар немесе медициналық жабдық.
18. "Кремнийдiң карбидiне" кескiштердi және қалыптау жабдығын дайындауға
арналған материалдар кiрмейдi.
19. Осы тармақта көрсетілген керамикалық салмағы бойынша 5% немесе одан
көп глиноземнен немесе цементтен, өз бетiнше құрамдас бөлiктер ретінде не
комбинацияларда болатын керамикалық материалдарды қамтымайды.
Кестеге техникалық ескерту:
"Жабуды жағу процесiнiң атауы" бағанында ұсынылған процестер мынадай
түрде айқындалады:
а. Будың химиялық шөгуi (CVD)- металл, құйма "композициялық материал"
диэлектрик немесе керамика немесе қыздырылған бұйымға жабылған кезде таза
сыртқы жабуды немесе жабылатын беттің модификациясы бар жабуды жасаудың
процесi. Газ тәрiздi реактивтер ыдырайды немесе бұйымның үстіңгі бетіне
қосылады, нәтижесiнде оған күтiлген элементтер, құймалар компаунттар
түзiледi. Осындай ыдырау немесе химиялық реакция үшiн энергия плазмалық
разрядпен немесе лазердiң сәулесiмен бұйымның қыздырылуы есебiнен
қамтамасыз етілуi мүмкiн.
1-Ерекше ескерту: Булардың химиялық шөгуi мынадай процестердi
қамтиды:
Тiкелей газды ағынмен жабуды пакеттiк емес
жағу, будың бүлкiлдеп соғатын химиялық шөгуi,
ядролық майдалаумен, плазманың қуатты ағынын
қолдана отырып басқарылатын термикалық жағы
немесе плазманың қатысуымен будың химиялық
шөгуi
2-ерекше ескерту: Пакет iшкi далапқа батырылған бірнеше
құраушыдан тұратын далапқа батырылған;
3-ерекше ескерту: Пакетсiз пакетте пайдаланатын (өнiмдер,
реагенттер) далаптың қоспасымен қатынассыз
жабу бұйымға жағылған жағдайларды қоспағанда
пакеттi цементтеу секiлдi бiрнеше базалық
реакциялармен және параметрлермен қолданылады.
Резисті қыздыру арқылы иондалатын бу фазасының болатын физикалық шөгу
(ТЕ-РVD)- жылу энергиясының көзi енгізiлген материалды буға айналдыру үшін
пайдаланылғанда 0,1 Па аз қысыммен вакуумдегі таза сыртқы жағу процесiнiң
нәтижесiнде конденсат немесе бүркеу бұйымның үстіңгі бетінiң тиiстi
бөлігіне шөгедi.
Шөктіру процессiнде вакуум камерасына газдарды толтыру осы процестiң жәй
ғана модификациясы болып табылады.
Бүркеудi енгізу немесе жандандыру немесе сондай-ақ осының
модификацияларының басым көпшiлiгіне тән осы процеске қатысу үшiн
ионды немесе электронды сәулелердi немесе плазманы пайдалану.
Оптикалық сипаттамалардың процесiнiң барысында өлшеудi қамтамасыз ету
немесе жабудың қалыңдығы үшiн мониторларды қолдану осы процестiң
қасиетi ретiнде қарала алынады.
b.Резистік қыздыру арқылы иондалатын будың физикалық шөгуiнiң мынадай
процестерi өзiндiк ерекшелiгі болып табылады (ТЕ-РVD):
1. Электронды-сәулелiк физикалық шөгу-электронды сәуле
пайдаланылатын бұйымға жағылған материалды қыздыру немесе бу
қылып ұшыру үшiн
2. Жылудың көзi ретінде терморезистермен физикалық шөгу бүркеу
материалының буының ағынын бақыланатын және бу ағынының
бiркелкi ағынын (бiртектi) қамтамасыз етуге қабiлетті электрлiк
қарсыласу пайдаланылады;
3. Лазерлiк бу болып ұшу. Мұнда бүркеудi қалыптастыратын қыздыруға
арналған лазердiң импульстi немесе үздiксiз сәулесi пайдаланылады;
4. Бүркеудi қалыптастыратын және жерге қосылған құрылғымен (трихтер)
бiрден байланыс жасаған соң катодтың үстіңгi бетінiң иiннiң бекiген
разряды бар материал ретiнде катодты иiндi қолдана отырып жабуды
қалыптастыру. Катодтың үстіңгі бетiнiң бақыланатын иiндiк топтануы
жоғары иондалған плазманың жүзуiне алып келедi. Коникалық болуы
мүмкiн және изолятор арқылы катоттың шет жағына орналасады
немесе камераның өзi анодтың рөлiн ойнай алады, iшкi қасықшаға
кернеудi беру бүркеудi жағуды жасау бұрышпен жүргізетiн кезде
қолданылады.
Ерекше ескерту: 4 (тармақшада сипатталған) процесс iшкі қасықшаның
тiркелген жағдайымен өзiнен-өзi болатын катодтық
иiнмен жағуларды жасауға жатпайды
5. Ионды жағу - жалпы процесстің арнайы модификациясы, онда плазмалық
немесе иондық көз жасалған жабулардың материалын иондау үшін
пайдаланылады, ал бұйымның терiс араласуы (заряды) плазмадан жасалған
құрайтын жабулардың шөгуiне жәрдемдеседi. Белсендi реагенттердi енгізу,
камерада қатты материалдардың булануы, сондай-ақ термобуландырумен буды
физикалық шөктiрудi кәдiмгі процесiнiң модификацияларына тән оптикалық
сипаттамалар мен бүркеулердiң қалыңдығын өлшеудi қамтамасыз ететін (жағуды
жүргізу процесiнде) мониторларды пайдалану.
с. Пакеттік цементтеу - жағуды жасаумен үстiңгі бетінiң модификациясы
немесе ұйым далапқа батырылғанда таза сыртқы жағуды жүргізу процесi -
