d. Мынадай сипаттамалардың кез келгенiне ие плазмалық
тозаңдатудың "қондырылған бағдарламамен басқарылатын"
өндiрiстiк жабдық:
1. Тозаңдану процесiнiң басталуына кейінгі қысымды
0,01 Па дейiн төмендетудi қамтамасыз етуге қабiлеттi
вакуумдық камерадағы бақыланатын атмосфераның азаятын
қысымы кезiнде жұмыс iстейтiн (10 кПа тең немесе кем
плазмалық қыздырманың шүмегiнiң шығу қиылысы жоғары
немесе iштен 300 мм өлшенедi; немесе
2. Өзiнiң құрамында тұрған орнында бүркеу қалыңдығын
бақылайтын құралы бар.
е. Өндiргiштiк тозаңдатуы 15 мкм/с немесе одан астам,
токтың тығыздығын 0,1 мА/кв мм-нен немесе одан астам
қамтамасыз етуге қабiлетті тамшылық шөгудiң метализациясы
"қондырылған бағдарламамен басқарылатын" өндiрiстiк
жабдық.
f. Катодта иiннiң тоғының тығыздығын басқаруға арналған
электр магнитті жүйенi қамтитын катодты - иiндi
тозаңданудың "қондырылған бағдарламамен басқарылатын"
өндiрiстiк жабдық;
g. Тұрған жерiнде мынадай өлшемдердiң кез келгенiнiң жүзеге
асыруға мүмкiндiк беретiн ионды метализация "қондырылған
бағдарламамен басқарылатын" өндiрiстiк жабдық:
1. Iшкi қасықшаға енгізiлген қабаттық қалыңдығы және
өсудің жылдамдығы; немесе
2. Оптикалық сипаттамалар;
Ескерту: 2В005 тармақ кесу аспабын бүркеу үшiн немесе
механикалық өңдеу үшiн арнайы әзiрленген химиялық
бушөктiру, катодты, иiндi тозаңдату, тамшының
шөктiру, ионды метализациялау ионды имплантация
жабдығын бақыланбайды;
---------------------------------------------------------------------------
2В005, а 845690000
942420100
2В005, b 845610000
2В005, с 845610000
2В005, d 845690000
2В005, е 845690000
2В005, f 851580900
2В005, g 845610000
---------------------------------------------------------------------------
2В006 Мыналар секiлдi мөлшерлердi өлшеуге немесе бақылауға
арналған жүйелер немесе жабдық:
(W1)
(N1B3.а) а. Мөлшерлердi ЭЕМ басқарылатын, "сандық бағдарламалық
басқарылатын" немесе "қондырылған бағдарламамен
басқарылатын" бақылау машиналары, "өлшеудiң ақаулығы" 3
осi бойынша ұзындығы (1,7 + L/1000) мкм-ге тең немесе кем
(жақсы) (L-ұзындығы мл өлшенедi), ISО 10360-2 халықаралық
стандартына сәйкес тестiленетiн;
Ерекше ескерту: Сондай-ақ 2В206 қараңыз.
b. Мыналар секiлдi сызықтық немесе бұрыштық ауысулар үшiн
өлшеу аспаптары:
(N1B3.b) 1. Мынадай құраушылардың кез келгенiне не сызықтық немесе
бұрыштық ауысуларға арналған өлшеу аспаптары:
а. "Шешетiн қабiлетi бар контактісiз үлгідегі өлшеу
жүйелерi", өлшеулердiң 0,2 мм дейiнгi диапазоны
кезiндегі 0,2 мкм тең немесе кем (жақсы);
b. Мынадай сипаттамаларға ие кернеудiң сызықтық реттелетін
сарамалы түрлендiргішi бар жүйелер:
1. "Сызықтығы" 5 мм-ге дейiнгі өлшеулер диапазонында
0.1% тең немесе кем (жақсы);
2. +(-)1 К айналадағы температураның ауытқуымен
стандартты жағдайлар кезiнде 0,1% тең немесе кем
(жақсы) ауытқу;
с. Барлық мынадай құрайтындарға ие өлшеу жүйелерi:
1. "Лазер" бар; және
2. Барлық мынадай сипаттамаларға ие стандартты
температура мен қысым кезiнде +(-)1 К айналадағы
температураның ауытқуы кезiнде кем дегенде 12 сағат
бойы сақтайтындар:
а. 0,1 мкм немесе кем (жақсы) толық шәкiлде "шешу";
және
b. Өлшеудiң ақаулығы (0,2 + L/2000) мкм (L-ұзындығы,
млм өлшенедi, тең немесе кем (жақсы));
Ескерту: 2В006.b.1 тармақ станоктардың жылжымалы
бөлiктерiнiң ақаулықтарын өлшеуге арналған
"лазер" бар тұйық немесе ашық контурлы керi
байланысы жоқ өлшейтiн интерферометрикалық
жүйелер, мөлшерлердi немесе осы секiлдi
жабдықтарды бақылау құралдары бақыланбайды;
0
(N1B3.с) 2. 0,00025 С-қа тең немесе кем (жақсы) бұрыштық күйi
ауытқитын бұрыштық өлшеу приборлары;
Ескерту: 2В006.b.2 тармақ айнаның бұрыштық қозғалысын
тiркеуге арналған коллимерленген жарықты
пайдаланатын аптиколлиматорлар секілдi оптикалық
приборлар бақыламайды;
с. 0,5 мн немесе одан кем (жақсы) сезiмталдықпен бұрыштың
функциясы ретiнде оптикалық ыдыратуды қолдана отырып
үстіңгi беттің кедiр-бұдырын өлшеуге арналған жабдық;
1-ескерту: Өлшеу құралы ретiнде пайдалану мүмкiн
станоктар, егер олардың параметрлерi
станоктардың немесе өлшеу приборларының
функциялары үшiн берілген сәйкес келсе немесе
бұдан асып түссе бақылануға жатады;
2-ескерту: 2В006 тармақта көрсетілген жүйелер, егер
олар өзiнiң параметрлерi бойынша олардың
жұмыс диапазонында қайсiбiр жерде бақылануға
жататын деңгейден асып түссе бақылануға
жатады;
---------------------------------------------------------------------------
2В005, а 903180310
2В005, b, 1 903140000
2В005, b, 2 903140000
903180310
903180910
2В005, с 903140000
---------------------------------------------------------------------------
2В007 Мынадай сипаттамалардың кез келгенiне ие "роботтар" арнайы
(W) жобаланған контролерлер және оларға арналған жұмыс органдары:
Ерекше ескерту: Сондай-ақ 2В207 қараңыз.
b. Уақыттың нақты ауқымында бағдарламаларды генерациялай
немесе модификациялай отырып немесе бағдарламаға арналған
цифрлiк деректер генерациялай немесе модификациялай отырып
үш өлшемдi бейнелердi процесстердi, объектiлердi толық
өңдеуге қабiлеттілер;
Ескерту: Бейнелердi, процесстердi немесе объектiлердi
өңдеу жөніндегi шектеулер берiлген бұрышпен
бақылау немесе тереңдiктi немесе алынған
тапсырмаларды (2 1/2 D) текстурасын қабылдаудың
интерпритациясы көлеңкесiнiң шектеулi
тиімдiлiктерi арқылы үшіншi өлшемнiң
аппросимакциясын қамтымайды;
(N1А3.а.1) b. Ұлттық қауiпсiздiк стандарттарына сәйкес арнайы әзiрленген
жарғыш әскери жарақтардың дайындаудың шарттарына
бейiмделген;
(N1А3.b.2) с. Радиациялық-төзiмдiлiгі ретінде арнайы жобаланған немесе
бағаланатын, сипаттамалардың дегратациясынсыз 5 х 10 рад
(кремний) артыққа төзетiндер (жиынтық базасы); немесе
Техникалық ескерту:
Рад терминi (кремний) экрандалмаған кремнилi үлгiмен
жұтылған иондайтын сәулеленудiң энергиясына (Дж/кг)
қатысты;
d. 30000 м-нен астын биiктiктердегі операцияларға арнайы
арналған;
---------------------------------------------------------------------------
2В007, а- 847989500
2В, d 853710100
853710910
853710990
---------------------------------------------------------------------------
2В008 Мыналар секiлдi 2В006 және 2В007 тармақтар бойынша
(W) бақыланатын станоктар немесе жабдықтар үшiн арнайы
әзiрленген тораптар, блоктар және қосымшалар:
а. 1800 + (600 х L х 10) (L-мл тиiмдiлiк ұзындығы) кем
(жақсы) толық "дәлдiкке" ие керi байланысы бар сызықтық
күйдi бағалау блоктары (мысалы, индуктивтiк үлгідегi
приборлар, калибрленген шәкiлдер, инфрақызыл жүйелер
немесе "лазерлiк жүйелер)"
Ескерту: "Лазерлiк" жүйелер үшiн 2В006.b.1 тармаққа
ескерту қолданылады;
0
b. 0,00025 С "дәлдiкке" ие керi байланысы бар сызықтық
күйдi бағалау блоктары (мысалы, индуктивтiк үлгiдегі
приборлар, калибрленген шәкiлдер, инфрақызыл жүйелер
немесе "лазерлiк жүйелер)"
Ескерту: "Лазерлiк" жүйелер үшiн 2В006.b.1 тармаққа
ескерту қолданылады;
с. Дайындаушының ерекшелемесiне сәйкес станоктарды 2В
тармақта көрсетiлген деңгейге дейiн немесе жоғары
модификациялайтын қолдану, "құрамдас айналатын столдар"
немесе "еңкейген шпиндельдер"
---------------------------------------------------------------------------
2В009, а- 8466
2В009, b
---------------------------------------------------------------------------
2В009 Дайындаушының техникалық ерекшелемесiне сәйкес "сандық
(W) бағдарламалық басқарудың" немесе компьютерлiк басқару
блоктарымен жабдықталуы мүмкiн және барлық мынадай
сипаттамаларға ие әбден сыннан өткен вальцовты және икемдi
станоктар;
(М3n1)
(N1B1) Ерекше ескерту: Сондай-ақ 2В109 және 2В209 қараңыз.
а. "Контурлық басқару" үшiн бiр мезгілде және келісілiп
үйлестiре алатын екi немесе одан көп бақыланатын осьтер;
және
b. 60 кН артық айналу осi;
Техникалық ескерту:
Сынақтан өткен вальцовты және икемдi станоктардың
функцияларын бiрiктiретiн станоктар 2В009 тармақтың
мақсаты үшiн сынақтан өткен вальцовты станоктарға қатысты
ретiнде қаралады;
---------------------------------------------------------------------------
2В009, а- 846229100
2В009, b 846390100
846390900
---------------------------------------------------------------------------
2В104 Өндiрiстік процесстi басқару, күрделi ракеталық шүмектердi
(М7с) және қайтып оралатын жарықтық аппараттарын тұмсық
бөлiктерiн тығыздау және пиролиз үшiн арнайы
(N1B5) құрастырылған жабдық, сондай-ақ жүйелер;
а. Ең жоғары жұмыс қысымы 69 Мпа немесе одан артық;
0
b. Камерада 873 К (600 С) немесе одан жоғары бақыланатын
температураға жеткізуге және оны ұстап тұруға қабiлетті;
және
с. Жұмыс камерасының iшкi диаметрi 254 мм немесе одан артық;
---------------------------------------------------------------------------
2В104 846299100
846299500
---------------------------------------------------------------------------
2В105
---------------------------------------------------------------------------
2В105 846299100
846299500
---------------------------------------------------------------------------
2В109 2В009 тармақ бойынша бақыланатындарды қоспағанда
(М3n1) сынақтан өткен аунатылған вальцовты станоктар және олар үшін
арнайы құрастырылған мыналар секiлдi компоненттер:
